论文

1. 论文题目:WAT 引起的晶圆低良率问题研究

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全部作者: 周波,黄其煜,莫保章
作者单位:上海交通大学电子信息与电气工程学院;上海华力微电子有限公司
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:在晶圆制造过程中,部分产品在金属互连层进行晶圆可接受度测试(wafer acceptance test,WAT)时会导致芯片出现特定图形的低良率。本文从WAT引起的缺陷、扎针下压距离(over drive,OD)...[more]

2. 论文题目:光电互连器件实现中GaAs 刻蚀的精确控制技术

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全部作者: 杨彦伟,刘凯,黄永清,段晓峰,王琦,刘昊,任晓敏
作者单位:北京邮电大学信息光子学与光通信研究院;北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:提出一种在电感耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)刻蚀系统中使用Cl2/Ar/O2刻蚀气体精确控制GaAs刻蚀速率的全新刻蚀技术。实验结果表明,O2的引入可使GaAs的刻蚀速率小于0.1 nm...[more]

3. 论文题目:一种三氟甲基取代的叔丁基联蒽类多功能 蓝光材料及OLED性能研究

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全部作者: 吕响,任静琨,李战锋,郝玉英
作者单位:太原理工大学物理与光电工程学院
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:设计并合成了一种三氟甲基取代的叔丁基联蒽衍生物(TBBAn-3,5-CF3),其具有优异的热稳定性(玻璃化转变温度和热分解温度分别为136℃和349℃)和良好的发光性能。以TBBAn-3,5-CF3作为发...[more]

4. 论文题目:服务器系统故障的远程调试方法

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全部作者: 王志德,祝永新
作者单位:上海交通大学微电子学院
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:研究利用一种通过服务器的基板管理控制器(baseboard management controller,BMC)系统和平台环境式控制接口(platform environment control interface,PECI),在不影响服务器本身系统资源且不破坏...[more]

5. 论文题目:无速度测量的多智能体系统旋转领航者跟踪控制问题

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全部作者: 陈磊,秦开宇
作者单位:电子科技大学航空航天学院
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:研究多智能体系统分布式旋转目标跟踪控制问题。该系统包含一个匀速旋转的领航者及多个跟随者智能体,系统中智能体的速度信息不可传递。为实现跟随者对领航者的跟踪控制,提...[more]

6. 论文题目:基于平方根无迹卡尔曼滤波的机器人无标定视觉伺服

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全部作者: 樊阳立,孙炜
作者单位:湖南大学电气与信息工程学院
期        数:2018年2月第4期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:针对基于图像雅可比矩阵的机器人无标定视觉伺服问题,提出一种基于平方根无迹卡尔曼滤波(square-root un-scented Kalman filter,SR-UKF)的图像雅可比矩阵在线估计方法。该方法以总图像...[more]

7. 论文题目:基于图像处理的轴承套圈裂纹检测系统

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全部作者: 刘金肖,帅立国,张雨露
作者单位:华为技术有限公司南京研究所;东南大学机械工程学院
期        数:2017年11月第22期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:针对目前轴承套圈磁粉检测自动化程度低、效率低的问题,提出一种基于图像处理的裂纹检测系统,主要包括中值滤波、构造带阻滤波器、边缘检测、主成分分析(principal component anal...[more]

8. 论文题目:纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布

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全部作者: 张然,王俊,成卓,胡海洋,杨泽园,马星,樊宜冰,黄永清,任晓敏
作者单位:北京邮电大学信息光子学与光通信研究院;北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室
期        数:2017年11月第22期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:由于直接外延制备的GaAs/Si材料不同,热膨胀系数不同,会产生热应力。采用数值计算方法,建立平板衬底和图形衬底GaAs/Si材料二维模型,计算并对比平板衬底与图形衬底GaAs/Si材料中...[more]

9. 论文题目:基于NSGA-II算法的刻蚀机腔室关键结构工艺参数多目标优化

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全部作者: 崔广英,杨为,张翔
作者单位:重庆大学机械传动国家重点实验室;重庆大学机械工程学院;重庆大学汽车工程学院
期        数:2017年11月第22期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:以某18英寸晶元湿法刻蚀机腔室为研究对象,建立以入口流量、入口半径、阻尼板渗透系数、喷淋板渗透系数和刻蚀腔间距为参数的中心复合设计(central composite design,CCD)。采用最小...[more]

10. 论文题目:自适应随机共振系统最佳参数设计

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全部作者: 张国勇,王军,李少谦
作者单位:电子科技大学通信抗干扰技术国家级重点实验室
期        数:2017年11月第22期
学        科:电子、通信与自动控制技术
摘        要:针对现有随机共振(stochastic resonance,SR)系统最佳匹配参数设计方法复杂且无法保证最优的问题,提出其最佳参数设计方法。首先,利用低频参考周期信号频率匹配Kramers 跃迁率与最...[more]
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