论文

1. 论文题目:Al-Fe-Cr-Ti合金等温锻造微观组织与力学性能研究

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全部作者: 吴静,冯艾寒,沈军
作者单位:哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;伯明翰大学材料与冶金学院;同济大学材料科学与工程学院
期        数:2017年3月第6期
学        科:材料科学
摘        要:铝合金具有轻质高强的优点,因此在交通运输业及航空行业有着广泛的应用。其中快速凝固−粉末冶金法制备的Al-Fe-Cr-Ti合金因在高温下具有较高的机械强度和足够的抗氧化性而被广泛...[more]

2. 论文题目:东京电子VIGUS型号干刻反应腔颗粒物增多机理研究

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全部作者: 汤介峰,黄其煜
作者单位:上海交通大学电子信息与电气工程学院;上海华力微电子有限公司
期        数:2017年3月第6期
学        科:材料科学
摘        要:围绕东京电子(TEL)VIGUS型号干刻反应腔颗粒物增多的问题展开研究。该型号反应腔所负责的制程是55 nm大马士革一体化刻蚀工艺,在没有业界经验的情况下,通过实验数据分析,确定...[more]
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