论文
1. 论文题目:WAT 引起的晶圆低良率问题研究
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全部作者:
周波,黄其煜,莫保章

作者单位:上海交通大学电子信息与电气工程学院;上海华力微电子有限公司
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:在晶圆制造过程中,部分产品在金属互连层进行晶圆可接受度测试(wafer acceptance test,WAT)时会导致芯片出现特定图形的低良率。本文从WAT引起的缺陷、扎针下压距离(over drive,OD)...[more]
2. 论文题目:服务器系统故障的远程调试方法
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全部作者:
王志德,祝永新

作者单位:上海交通大学微电子学院
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:研究利用一种通过服务器的基板管理控制器(baseboard management controller,BMC)系统和平台环境式控制接口(platform environment control interface,PECI),在不影响服务器本身系统资源且不破坏...[more]
3. 论文题目:基于平方根无迹卡尔曼滤波的机器人无标定视觉伺服
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全部作者:
樊阳立,孙炜

作者单位:湖南大学电气与信息工程学院
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:针对基于图像雅可比矩阵的机器人无标定视觉伺服问题,提出一种基于平方根无迹卡尔曼滤波(square-root un-scented Kalman filter,SR-UKF)的图像雅可比矩阵在线估计方法。该方法以总图像...[more]
4. 论文题目:光电互连器件实现中GaAs 刻蚀的精确控制技术
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全部作者:
杨彦伟,刘凯,黄永清,段晓峰,王琦,刘昊,任晓敏

作者单位:北京邮电大学信息光子学与光通信研究院;北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:提出一种在电感耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)刻蚀系统中使用Cl2/Ar/O2刻蚀气体精确控制GaAs刻蚀速率的全新刻蚀技术。实验结果表明,O2的引入可使GaAs的刻蚀速率小于0.1 nm...[more]
5. 论文题目:无速度测量的多智能体系统旋转领航者跟踪控制问题
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全部作者:
陈磊,秦开宇

作者单位:电子科技大学航空航天学院
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:研究多智能体系统分布式旋转目标跟踪控制问题。该系统包含一个匀速旋转的领航者及多个跟随者智能体,系统中智能体的速度信息不可传递。为实现跟随者对领航者的跟踪控制,提...[more]
6. 论文题目:空间目标的位姿计算
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全部作者:
曾宪衡,孙汉旭

作者单位:北京邮电大学自动化学院空间机器人技术教育部国防重点实验室
期 数:2018年5月第10期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:根据双目相机的模型特点,对空间目标物体采取双目立体视觉测量,首先通过相机的内参数标定计算将物体的图像坐标与双目相机联系起来,接下来利用三维重建及立体匹配等方法,...[more]
7. 论文题目:铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控
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全部作者:
柳小敏,黄其煜,胡彬彬,蔡俊晟

作者单位:上海交通大学电子信息与电气工程学院;上海华力微电子有限公司
期 数:2018年5月第10期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:运用物理气相沉积(physical vapor deposition,PVD)方法制备铝薄膜,简要概括了PVD铝薄膜工艺和设备腔体,重点分析了铝薄膜沉积温度及腔体环境杂质对晶须缺陷的影响,并从腔体的日常...[more]
8. 论文题目:单目视觉移动机器人目标定位改进方法
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全部作者:
彭磊,张赤斌

作者单位:东南大学机械工程学院
期 数:2018年8月第16期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:为实现单目视觉移动机器人对目标物体的定位,提出一种基于相机的针孔成像模型与几何坐标映射变换原理的目标定位方法。通过相机标定获得相机的内参数与畸变系数,并以此修正...[more]
9. 论文题目:一种三氟甲基取代的叔丁基联蒽类多功能 蓝光材料及OLED性能研究
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全部作者:
吕响,任静琨,李战锋,郝玉英

作者单位:太原理工大学物理与光电工程学院
期 数:2018年2月第4期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:设计并合成了一种三氟甲基取代的叔丁基联蒽衍生物(TBBAn-3,5-CF3),其具有优异的热稳定性(玻璃化转变温度和热分解温度分别为136℃和349℃)和良好的发光性能。以TBBAn-3,5-CF3作为发...[more]
10. 论文题目:面向工业现场检测的混合定位控制系统及方法
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全部作者:
吕宁,赵欣,郑健,徐薇

作者单位:哈尔滨理工大学自动化学院
期 数:2018年11月第22期
学 科:电子、通信与自动控制技术
摘 要:从计算机视觉和惯性导航两个方向,介绍了两种不同类型的定位跟踪方法,在视觉定位的基础上使用惯导数据对位置进行修正,实现了工业环境下的姿态跟踪。设计了一种新的视觉盲...[more]