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基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量
发表时间：2015-03-31 浏览量：1702 下载量：604
| 全部作者： | 刘雪原，钟志 |
| 作者单位： | 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院 |
| 摘 要： | 为提高石英摆片厚度测量的精度和效率，提出一种利用光谱共焦传感器进行测量的非接触测量方法，并对该方法测量的不确定性进行了分析和实验。实验结果表明：该测量方法测量精度高，重复性好，可以实现石英摆片厚度的非接触精密测量。 |
| 关 键 词： | 光电子学与激光技术；光谱共焦；石英摆片；厚度测量 |
| Title： | Measurement method for the thickness of quartz pendulous reed based on chromatic confocal sensor |
| Author： | LIU Xueyuan，ZHONG Zhi |
| Organization： | College of Information and Communication Engineering, Harbin Engineering University |
| Abstract： | In order to improve the accuracy and efficiency of the measurement of quartz pendulous reed thickness, this paper proposed a non-contact measurement method using chromatic confocal sensor and analyzed the method. Experimental results show that the proposed method has good stability and high measurement accuracy, which can achieve precise non-contact measurement of quartz pendulous reed thickness. |
| Key words： | optoelectronics and laser technology; chromatic confocal; quartz pendulous reed; thickness measurement |
| 发表期数： | 2015年3月第6期 |
| 引用格式： | 刘雪原，钟志. 基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量[J]. 中国科技论文在线精品论文，2015，8（6）：610-613. |
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