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磷化铟基无源脊波导
发表时间：2014-04-30 浏览量：1992 下载量：587
| 全部作者： | 陈开胜，叶梦渊，陈彬，余宇，张新亮 |
| 作者单位： | 华中科技大学武汉光电国家实验室 |
| 摘 要： | 磷化铟（InP）基无源波导是光子集成的关键基础器件。研究在理论上分析了InP基无源脊波导的单模条件，得到该波导的截止特性。自行开发InP基器件工艺，如普通光刻、掩膜刻蚀、InP波导刻蚀等，并设计和制作了2.0 μm宽的无源单模脊波导和5.0 μm宽的无源多模脊波导；经实验测算，单模波导损耗约为1.3 dB/mm，多模波导损耗约为1.0 dB/mm. 同时，单模波导中被设计成锥形的输入、输出端能够作为模斑转换器，从而减少无源波导与光纤的耦合损耗。 |
| 关 键 词： | 半导体器件与技术；光子集成；磷化铟；无源脊波导；模斑转换器 |
| Title： | Passive ridge waveguides in InP |
| Author： | CHEN Kaisheng, YE Mengyuan, CHEN Bin, YU Yu, ZHANG Xinliang |
| Organization： | Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology |
| Abstract： | The passive waveguides of InP are the most important building block for photonic integration. The single mode conditions and cut-off characteristics of the passive surface ridge waveguide in InP were studied. And a 2.0 μm-wide single mode and a 5.0 μm-wide multi-mode passive surface ridge waveguides were designed using numerical simulation and fabricated using lithography and etching process. The propagation loss of the single mode waveguide was 1.3 dB/mm, while 1.0 dB/mm for the multi-mode waveguide. In addition, the input and output tapers were spot size converters to enable improved coupling to lensed fibers. |
| Key words： | semiconductor devices and technology; photonic integration; InP; passive ridge waveguide; spot size converter |
| 发表期数： | 2014年4月第8期 |
| 引用格式： | 陈开胜，叶梦渊，陈彬，等. 磷化铟基无源脊波导[J]. 中国科技论文在线精品论文，2014，7（8）：772-775. |
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